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Zerodur（微晶玻璃陶瓷）在半導體中，主要憑借其“幾乎零熱膨脹系數”和“超高尺寸穩定性”發揮關鍵作用： 光刻掩膜基板 用作高精度掩膜板空白基片，保證在紫外／極紫外曝光下不變形，從而實現納米級圖形轉移。 曝光系統
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