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在半導體制造中,氧化鋁對準環/支撐環廣泛用于等離子蝕刻、薄膜沉積、晶圓清洗等工藝。其作用主要包括 1. 晶圓對準/定位環 作用：幫助晶圓在蝕刻、沉積或清洗等過程中保持精準位置； 特征對應：外圍的等距凹槽/突齒可能與腔體或設備中的其他結構“卡扣配合&rdquo
Tag : 定制氧化鋁陶瓷部件,半導體陶瓷元件,等離子蝕刻用陶瓷環
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